Plonos plėvelės nusodinimo technologijų srityje titano purškimo taikiniai atlieka pagrindinį vaidmenį įvairiose pramonės šakose, kurių kiekviena reikalauja kruopštaus veikimo specifikacijų, kad atitiktų savo unikalius reikalavimus.
Pagrindiniai titano purškimo taikinių našumo kriterijai
- Grynumas: grynumas yra svarbiausias efektyvumo rodiklis purškiant taikinius, turinčius didelę įtaką plonos plėvelės savybėms. Pramonei būdingi grynumo reikalavimai skiriasi; Pavyzdžiui, puslaidininkių pramonėje grynumo slenkstis padidėjo mažėjant silicio plokštelių matmenims ir vielos pločiui. Anksčiau 0.35 μm IC procesams pakakdavo 99,995 % grynumo, o gaminant 0.18 μm linijas dabar būtinas 99,999 % ar net 99,9999 % grynumo lygis.
- Priemaišų kiekis: priemaišos tikslinėje medžiagoje ir porose įstrigusios dujos yra pirminiai taršos šaltiniai plėvelės nusodinimo metu. Todėl įvairios programos reikalauja skirtingų grynumo lygių. Pavyzdžiui, puslaidininkių sektoriuje gryno aliuminio ir aliuminio lydinių taikiniai nustato specifinius reikalavimus šarminių metalų ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.
- Tankis: siekiama didelio tikslinio tankio, kad būtų sumažintos poros kietame taikinyje, pagerinant purškiamos plėvelės veikimą. Tikslinis tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelių savybėms. Padidėjęs tankis ir stiprumas apsaugo taikinius nuo šiluminių įtempių purškimo proceso metu, todėl tankis tampa kritiniu veikimo rodikliu.
- Grūdelių dydis ir pasiskirstymas: Purškiamieji taikiniai paprastai pasižymi polikristalinėmis struktūromis, kurių grūdelių dydis svyruoja nuo mikrometrų iki milimetrų. Taikiniai su smulkesniais grūdeliais paprastai pasižymi didesniu purškimo greičiu, palyginti su stambesnio grūdėtumo atitikmenimis. Taikiniai su minimaliais grūdelių dydžio skirtumais (vienodas pasiskirstymas) duoda tolygesnio storio pasiskirstymo plėveles.
Įvairūs pramonės grynumo reikalavimai titano purškimo taikiniams
- Integriniai grandynai: Integriniuose grandynuose naudojami titano purškimo taikiniai reikalauja išskirtinai aukšto grynumo lygio, viršijančio 99,995 %, kad būtų užtikrintas plėvelės veikimas ir stabilumas.
- Plokštieji ekranai: įvairios plokščiųjų ekranų technologijos, tokios kaip skystųjų kristalų ekranai, plazminiai ekranai, OLED ir lauko emisijos ekranai, naudoja purškimo būdus, kai titano taikiniai, svarbiausios purškiančios medžiagos, paprastai reikalauja didesnio nei 99,9 % grynumo.
Titano purškimo taikiniai plačiai pritaikomi elektronikos, informacinių technologijų, namų dekoro, automobilių stiklo gamybos ir kituose aukštųjų technologijų sektoriuose. Šiose pramonės šakose titano taikiniai naudojami dengiant integrinius grandynus, plokščių plokščių komponentus, dekoratyvines priemones, stiklo dangas ir kt.
