2*3 mm skylės titano tinklelis su Ir{2}}Ta danga, skirta puslaidininkiniam padengimui

2*3 mm skylių titano tinklelis su Ir{2}}Ta danga puslaidininkiniam padengimui yra pagamintas iš ASTM B265 1 klasės komercinio gryno titano lakšto. Skirtingai nuo štampuoto tinklelio, išplėsta konstrukcija sukuria ištisinę deimanto -formos angą-, čia nurodyta kaip 2 mm × 3 mm-, neprarandant medžiagos ar suvirintų susikirtimų, išsaugant įgimtą titano pagrindo atsparumą korozijai ir konstrukcijos vientisumą. Išsiplėtimo žingsnis nukreipia sruogas kontroliuojamu kampu, padidindamas efektyvų paviršiaus plotą, išlaikant vienodą srovės pasiskirstymą per anodo paviršių. Naudojant puslaidininkinį dengimą, ši geometrija tiesiogiai reiškia stabilų elektrolito srautą per elektrodą, sumažintą burbuliukų įstrigimą ir nuoseklias elektrinio lauko linijas – visa tai būtina norint pasiekti sub{13}}mikronų dengimo vienodumą ant plokštelių{14}}lygio pagrindo. Po išsiplėtimo tinklelis kruopščiai nuriebalinamas šarminiu būdu ir ėsdinamas rūgštimi, kad būtų pašalinti vietiniai oksidai, užtikrinant mechaninį tvirtinimą, kad vėliau būtų padengta mišri metalo oksido danga.

Iridžio -tantalo (Ir-Ta) oksido danga padengiama termiškai skaidant pirmtakų druskas, todėl gaunamas matmenų stabilus anodas (DSA), specialiai sukurtas deguonies išsiskyrimui sieros rūgšties -pagrinduose elektrolituose, kuriuose yra chloridų pėdsakų -atsižvelgiant į tikslią pusvario chemiją. vonios. 2*3 mm skylių titano tinklelis su Ir-Ta danga, skirta puslaidininkiniam padengimui, užtikrina net 1,385 V deguonies išsiskyrimo potencialą, palyginti su gyvsidabrio sulfato etaloniniu elektrodu, tiesiogiai sumažindama elementų įtampą ir energijos sąnaudas atliekant impulsinio periodinio atvirkštinio (PPR) dengimo operacijas. Ir-Ta formulė pasižymi puikiu atsparumu anodiniam tirpimui esant didelio-srovės-tankio impulsams, įprastai vario damasceno procesuose, kur rutenio -pagrindo dangos greičiau suirtų.

Be to, tantalo oksido komponentas stabilizuoja dangos struktūrą, pailgindamas eksploatavimo trukmę ilgiau nei 36 mėnesius pagal tipinius puslaidininkių sujungimo -į-susiliejimo ciklus. Kiekviena tinklelio partija tikrinama naudojant automatines matymo sistemas lyginimo ir apdailos etapuose, patvirtinant storio leistinumą ±0,05 mm ir profilius be briaunų, suderinamus su automatizuotu dengimo įrankiu. Rezultatas – neužterštas anodas, išlaikantis matmenų stabilumą, pašalinantis kietųjų dalelių išsiskyrimą ir užtikrinantis pakartojamą, aukšto{8}}grynumo dengimo našumą, reikalingą pažangiam jungčių metalizavimui.

Puikus atsparumas korozijai chlorido -turinčioje sieros rūgšties

Tantalo oksido komponentas stabilizuoja dangos matricą nuo anodinio poveikio elektrolituose, kuriuose yra chloridų pėdsakų, standartinio pažangiosios vario dengimo chemijos priedo. Titano substratas lieka visiškai pasyvuotas, todėl pašalinama vario užteršimo iš ištirpusio netauriojo metalo rizika.

Minimalus burbulų įstrigimas ir pagerintas masės pernešimas

Atvira tinklelio struktūra leidžia išsivysčiusiems deguonies burbulams greitai atsiskirti nuo elektrodo paviršiaus, sumažinant ribinio sluoksnio pasipriešinimą ir išlaikant nuoseklų elektrolito srautą. Antspauduoto tinklelio arba vientisos plokštės alternatyvos pasižymi didesniu dujų sulaikymu, todėl vietinis ekranavimas ir dengimas netolygūs.

Veikimas be užteršimo-

Tiek titano substratas, tiek Ir{0}}Ta danga dengimo sąlygomis yra inertiški. Į elektrolitą nepatenka švino, stibio ar kitų tirpių medžiagų, todėl nereikia periodiškai keisti anodo maišelio ir sumažėja dalelių defektų, mažesnių nei 10 μm.

 

Storio tolerancija ir{0}}nesubraižytos briaunos

 

Po-išsiplėtimo išlyginimas ir apdaila valdomi automatizuotomis regėjimo sistemomis, išlaikančiomis vardinį storį iki ±0,05 mm ir užtikrinant, kad visi sruogų kraštai būtų nuplėšti. Tai pašalina mechaninius membranų separatorių arba plokštelių tvarkymo įrankių pažeidimus.

Pailgintas tarnavimo laikas

Pagreitintas eksploatavimo laikas (ALT) iki 2 A/cm² esant 1,5 M H₂SO₄ nuolat viršija 36 nepertraukiamo veikimo mėnesius, o dangos degradaciją rodo įtampos padidėjimas, o ne katastrofiškas gedimas, todėl galima numatyti techninės priežiūros grafiką.

Pritaikomi geometriniai parametrai

 

Nors nurodyta kaip 2 mm × 3 mm anga, išplėstinio tinklelio procesas leidžia nepriklausomai valdyti gijos plotį, atidarymo kampą ir atviro ploto procentą, todėl galima optimizuoti konkrečias dengimo įrankių konstrukcijas ir skysčio srauto reikalavimus be papildomų įrankių.

• Varinis damascenas loginiams mazgams – anodo surinkimas 300 mm dengimo įrankiuose, kad būtų galima užpildyti tuščią -iš apačios- mažesnių nei 10 nm griovių; išplėstas tinklelis užtikrina tolygų srovės pasiskirstymą pagal PPR bangų formas.

• Užpildymas per-silicio per (TSV) – viso skerspjūvio palaiko stabilų deguonies išsiskyrimą ilgų didelio -srovės-tankio ciklų metu.

• Perskirstymo sluoksnis (RDL) ant skydelio{0}}lygio pakuotės – horizontalios irklų dengimo sistemos; 2 × 3 mm angos užtikrina nuolatinę elektrolito recirkuliaciją<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Apverčiamas-lusto metalizavimas (UBM) – segmentuotas srovės valdymas pasirinktuose dengimo įrankiuose; danga atlaiko periodinius atvirkštinio valymo ciklus be veikimo poslinkio.

• Įterptųjų pėdsakų substrato (ETS) didelio{0}}tankio jungtys – vertikalios ištisinės plokštelės (VCP); anodo skydelis apima visą pagrindo plotį, sumažindamas ištraukimą- ir pašalindamas kietos plokštės priežiūros apribojimus.

• Auksinis / nikelis, skirtas automobiliams ir elektros įrenginiams – didelio{0}}srovės-tankio veikimas (3–8 ASD); mažas viršpotencialas sumažina elektrolito kaitinimą, išsaugodamas vonios stabilumą 20–100 μm iškilimams.

• Elektrolitinis vario folijos apdorojimas{0}} – ištisinės linijos 6–18 μm folijai; išplėstas tinklelis užtikrina vienodą srovę 1400 mm tinklelio pločio chromo{4}}pasyvavimo stadijose.

• Dengimo įrankių modifikavimas – tiesioginis „Lam Research“, taikomųjų medžiagų, NEXX sistemų pakeitimas; Ir-Ta danga užtikrina ilgesnį priežiūros intervalą, palyginti su originaliais rutenio{1}}anodais.

Tel.: 0917-3873009

Telefonas: +86 18992731201

El. paštas:zhangjixia@bjygti.com

Faksas: 0917-3873009

Adresas: No{0}}, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kinija

WhatsApp: +86 18992731201

Populiarus Žymos: 2*3 mm skylės titano tinklelis su ir-ta danga puslaidininkiniam dengimui, Kinija, tiekėjai, gamintojai, pritaikyti, naudojimas, kainoraštis, parduodamas, sandėlyje, nemokamas pavyzdys, porėta medžiaga